瑞邦精控的四轴精密运动台为非接触式表面轮廓测量提供超精密定位，配合客户的光学测头可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行高精度测量。为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计，例如对球面、非球面、平面和自由曲面光学测量。
四轴精密运动台精度指标
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轴号 |
R轴 |
Z轴 |
T轴 |
C轴 |
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行程 |
110mm |
50mm |
180° |
360° |
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补偿后定位精度 |
±0.3μm |
±0.3μm |
±1.5arc sec |
±1arc sec |
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双向重复定位精度 |
±75nm |
±100nm |
±1arc sec |
±0.5arc sec |
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轴向跳动误差 |
— |
— |
— |
100nm |
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径向跳动误差 |
— |
— |
— |
250nm |
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倾斜误差 |
— |
— |
— |
0.6arc sec |
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直线度 |
1μm |
1μm |
— |
— |
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平面度 |
1μm |
1μm |
— |
— |
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电子分辨率 |
≤1nm |
≤1nm |
≤0.01arc sec |
≤0.08arc sec |
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最大速度（空载） |
200mm/s |
100mm/s |
120°/s |
1800°/s |
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最大负载 |
1.5kg |
30kg |
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